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                半導體行業凈化解決方案
                
	
                晶圓設備，微粒過濾和控制AMC是必須的。微粒過濾和控制AMC是高收益、低退貨率的半導體產業首要擔心的問題。不能很好的在潔凈室或設備中控制微?；駻MC將大大的削弱企業的經營利潤。潔凈室的主要的問題是產品、工具、加工過程和氣味控制的污染。
                

                傳統的通風形式是在車間的整個天花板上布滿高效過濾器，整個地面為回風柵板。如今我公司生產的FFU 使用自帶風機的過濾裝置，解決了繁復的安裝和性價比問題，是目前市場上一種安靜、價格優良的機組，為潔凈室輸送高質量的循環空氣。
                

                 
                

                

                


                


                污染物
                
                		


                來源
                
                		


                引發問題
                
                		


                解決方案
                
                		

                

                


                粉塵
                
                		


                空氣
                
                		


                造成集成電路斷路、短路，影響成品率
                
                		


                化學過濾模塊+普通、高效過濾器/FFU
                
                		

                

                


                NH3，NMP
                
                		


                外氣
                
                		


                “T-top“現象
                
                		


                化學過濾模塊
                
                		

                
                

                

                

                 
                

                 
                

                部分成交客戶
                

                 
                
    
                
	
                
    	
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